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1、干泵（包括螺桿真空泵、渦旋真空泵和爪形泵）。適用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝使用，這幾種泵都能直排大氣。
2、油封機械真空泵（包括滑閥泵、旋片真空泵和定片泵）。適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當前，旋片式油封機械真空泵，作為直排大氣的前級泵，使用的量大面廣。
3、水環真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。
4、往復真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環真空泵使用的工藝基本相同。但是，往復真空泵不能直接抽水蒸汽，需要抽水蒸汽時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。
5、羅茨真空泵。真空冶煉等工藝中使用。（機械增壓泵）適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用，濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工藝中。
6、油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它與機械增壓泵想類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵。
7、油擴散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統等工藝中使用。它適合于抽取高真空使用，本身不能直排大氣，必須配備前級真空泵。
8、吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。
9、鈦泵（包括濺射離子泵、升華泵）。適用于真空鍍膜、大規模集成電路、表面物理和表面化學，熱核物理、等離子體物理和超導技術等工作中使用。
10、分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應和宇航技術工作中使用。
11、水噴射泵。適合于真空導料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工業領域中使用。
12、水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發、真空干燥和真空回潮等工藝中使用。
13、低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術和宇航技術等工作中使用。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2017-06-09
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