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真空泵系列產品組合中久經考驗的干式螺桿真空泵，可以為工藝嚴苛的太陽能、平板顯示器和半導體應用提供世界一流的高負荷和大流量進出片室解決方案。該真空泵采用獨特的螺桿設計，并且集一流的抽速、強勁的抽氫性能，以及卓越的粉塵處理能力于一身。
同時配備了高能效電機和世界先進的休眠模式功能，可節省大量能耗。采用最優化的空間設計，并具有節能潛力，因此運行成本很低。
技術設計
螺桿真空泵采用反向旋轉的兩個轉子，通過螺桿與腔體間形成的腔室將抽取的工藝介質逐級輸送至排氣口。此螺桿結構從更大程度上減少介質在真空泵中的滯留時間，使其具有更佳的粉塵處理和重啟能力。
與標準螺桿設計相比，改進后的螺桿設計能耗更低，壓縮后的氣體溫度更低。使用間接的制冷方法，可使整個泵體的溫度保持恒定，從而消除冷點，并為冷卻水夾套提供穩定的溫度。先進的高壓縮螺桿設計實現了同類產品中更佳的抽氫性能。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2016-05-27
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