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真空泵是一個設備，氣體分子從一個密封的卷中刪除以留下一個局部真空。第一臺真空泵于1650年由奧托馮居里克發明 。
剖視圖的一個渦輪分子高真空泵
真空泵類型
泵，大致可分為三種技術：
容積式泵使用一種機制，一再擴大腔，使氣體流室，密封腔，它排氣的氣氛。
動量傳輸泵，也被稱為分子泵 ，利用高速噴射密集的液體或高速旋轉的刀片敲室中的氣體分子。
圈套泵捕獲氣體中的固體或吸附狀態。這包括低溫泵 ， 干將 ， 離子泵 。
容積式泵是最有效的低真空。在與一個或兩個正排量泵的動量傳輸泵是最常見的配置，用來實現高真空。在此配置中的正排量泵有兩個目的。首先，它獲得粗真空中的動量傳輸泵前可以用來獲得高真空，動量傳輸泵無法啟動抽水大氣壓力的船只被疏散。第二，正排量泵備份撤離到低真空流離失所分子在高真空泵的積累動量傳輸泵。圈套泵可達到超高真空，但他們需要定期再生的表面陷阱空氣分子或離子。由于這項規定其現有的運行時間可不能接受的低和高真空，從而限制了其使用超高真空。泵制造公差等細節也不同，密封材料，壓力，流量，入院時或入場無油蒸汽，維修間隔時間，可靠性，耐灰塵，耐化學品，耐液體和振動。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2011-10-24
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